Рідина для вакуумних насосів Krytox® 1525

 

Рідина для вакуумних насосів Krytox 1525 є синтетичною перфторполіефірною (PFPE) рідиною для механічних вакуумних насосів, яка є продуктом вибору, коли потрібна повна негорючість, сумісність з киснем і стійкість до агресивних хімічних речовин. Олія Krytox 1506 VPF має тиск пари 4 x 10-7 торр при 20 градусах Цельсія. (Олія Krytox 1514 VPF = 2x10-7 торр, олія Krytox 1525 VPF = 1x10-7 торр). Завдяки наднизькому тиску пари та здатності до регенерації олії Krytox VPF є відмінним вибором для плазмових, CVD та інших операцій з напівпровідниками. Ці синтетичні мастильні матеріали забезпечують чудову продуктивність і збільшений термін служби як мастильних матеріалів і герметиків у вакуумних насосах, де безпека має вирішальне значення, в агресивних середовищах, де хімікати напівпровідникового процесу можуть впливати на більшість інших мастильних матеріалів, а також у клапанах, ущільненнях. , підшипники і з'єднувачі вакуумних систем, де низький рівень пари. тиск, виділення газів та забруднення неприпустимі.